✧ 품 명 : 반도체 세척장비

✧ 모델명 : KPC-1SUMP

✧ 목 적 : 설비목적 : 본 설비는 미세 Particle을 세정 또는 유입을 방지하는데 목적이 있다.

✧ 세척제 : 초순수 / 솔벤트

✧ 세척제의 특성 : 초순수 ) 어떠한 물질도 함유되지 않고 반복된 필터링으로 정제한 순수 (철분 0%)

최종 세척에서 주로 사용되며, 미세 Particle제거에 용이하다.

솔벤트 ) 발화성이 높으나, 세척력이 상당히 뛰어나다.

기름때 / 슬러지세척에 유리하다.

✧ 제품 특징

❶ 크린룸에 적합하다.

❷ 정밀 세척이 가능하다.

❸ P.L.C / 터치스크린 System으로 누구나 조작이 간편하다.

❹ 주문제작으로 크린룸 세척공간에 매립이 가능하다.

❺ 설비 전체를 Cover로 덮어 미세 Particle의 유입을 최소화 한다.